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雅威达-微型导轨等精密传动元件提供商
上银微型导轨邀您来参加中国国际半导体展
返回列表 来源: 雅威达上银微型直线导轨 发布日期: 2020.06.18

2020中国国际半导体展(SEMICON CHINA 2020将在627-29,在上海浦东新国际博览中心及上海浦东嘉里大酒店举办。作为传动系统组件大厂上银科技当然不会缺席,当然也少不了上银微型导轨应用方案设备。

在这个专业的半导体相关设备展览期间,作为上银的明星产品,EFEM(晶圆移载模块Equipment Front End Module)当然始终在C。EFEM为半导体晶圆移载系统,关键功能部件全部出自上银HIWIN,包括:伺服电机、直驱电机、上银微型导轨、滚珠丝杠、单轴机器人。这个系统,整合了洁净机器手臂,可实现低微粒尘产生,满足晶圆封测的高洁净环境需求。还支持RS-232Ethernet通讯,简易化的人机互动接口,可编程,灵活设定运送规则,使用真空吸取尺寸为812的晶圆。

上银微型导轨晶圆移载模块

EFEM系统软件由上银自行开发,具有软件硬件垂直整合的优势,还可以提供定制化服务,提升客户竞争力。此外,在本次展会上,还有晶圆机器人(Wafer Robot),包括RWS单臂晶圆机器人,RWD双臂晶圆机器人,史卡拉机器人(SCARA Robot)等,另外还有单轴直线电机平台(Single-Axis Linear Motor Stage)等设备,助力此次半导体展览。


上银微型导轨晶圆机器人

HIWIN凭借强大的研发团队,在半导体领域深耕多年,并在发展中,积累了丰富的技术经验和市场基础。展会现场将展示多种升级方案,并为业者提供更多高附加价值的解决方案。

深圳雅威达11年,专注于HIWIN上银微型导轨应用以及长度定制,如果您需要了解更多有关微型导轨,欢迎扫码联系雅威达。



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